賽默飛掃描電鏡（原FEI）發展歷史

　　賽默飛世爾科技（以下簡稱“賽默飛”）是全球領先的科學儀器、試劑和服務供應商之一，致力于為客戶提供領先的創新技術、便捷采購方案和全方位服務。全球員工超過13萬人，年銷售額約400億美元。

　　賽默飛始終致力于推動科學儀器發展。在全球戰略的引領下，賽默飛于2016年完成了對FEI掃描電鏡產線的收購，以提升公司產品組合的競爭力。并且，賽默飛充分利用自身的全球規模和商業化模式，使得FEI電鏡產品在廣大的客戶群體中得到推廣，對推進電鏡技術在生物、材料等領域的應用發展意義重大。

　　賽默飛一向注重技術創新，在完成FEI電鏡業務的收購之后，賽默飛對電子光學、精密機械、電子電路、軟件和真空系統等關鍵技術進行了整合。對掃描電鏡進行了技術升級，在產品類型上，推陳出新，引領全球掃描電鏡的發展潮流，進一步鞏固了作為全球掃描電鏡領域領跑者的地位。

　　賽默飛掃描電子顯微鏡（原FEI ）

　　自20世紀30年代電子顯微鏡面世以來，SEM掃描電鏡已成為諸多行業科研及生產工作中的必備工具，其應用范圍覆蓋材料科學、基礎科研、工業生產等各個領域。在涉及樣品表面或近表面區域的形貌、成分和結構信息的工作中，SEM掃描電鏡就是技術人員提升工作效率、攻克項目難題的得力助手。

　　賽默飛掃描電鏡具有高度的靈活性和智能的操作系統，配置完善，包含多種檢測器、附件，可以滿足廣泛的研究和工業檢測需求。無論檢測的樣品是何種尺寸、重量，導電性如何，賽默飛掃描電鏡都可以幫助實驗人員輕松應對挑戰，快速獲得出色的圖像和分析結果。

　　賽默掃描電子顯微鏡發展歷程

　　當我們談到賽默飛電鏡，就不得不提及飛利浦和FEI。

　　最初的FEI公司由L.W. Swanson博士, N.A. Martin先生，L. Swenson先生和J. Orloff博士于1971年創建。1997年，FEI公司與荷蘭皇家飛利浦公司電子光學部合并。2016年，賽默飛世爾科技收購原FEI電鏡，成立賽默飛材料與結構分析（MSD) 電鏡事業部。接下來給大家介紹一下關于飛利浦和FEI的故事。

　　飛利浦電子光學發展歷程

　　·1949年 Philips Electron Optics（飛利浦電子光學）成立，發布了全球第一臺商用TEM。

　　·1958年 飛利浦電子光學推出的EM200突破了10Å的TEM分辨率。

　　·1966年 飛利浦電子光學交付固態分辨率5Å的TEM。

　　·1975年 飛利浦電子光學推出EM400 TEM，成為現代透射電鏡發展的基礎。

　　·1977年 飛利浦電子光學發布全球第一臺場發射TEM。出臺高分辨率SEM。

　　·1986年 飛利浦電子光學推出計算機控制TEM系統。

　　·1990年 飛利浦電子光學發布全球第一臺PC控制的掃描電鏡XL系列。

　　·1996年飛利浦電子光學收購ElectroScan及環境掃描電鏡（ESEM）技術。飛利浦電子光學收購位于捷克共和國布爾諾的Delmi公司。

　　FEI發展歷程

　　·1971年 FEI成立，主要生產聚焦離子束產品，并致力于提供用于場發射電子槍的高純度、定向單晶體材料。

　　·1981年 FEI研制出液體金屬離子源（LMI）。

　　·1982年 FEI第一個LMI聚焦離子束鏡筒交付使用。

　　·1983年 FEI第一個靜電場聚焦離子束鏡筒交付使用。Micrion成立，它專注于研制用于光罩修補的離子束系統。

　　·1985年 Micrion第一臺聚焦離子束系統交付使用。

　　·1989年 ElectroScan推出全球第一臺環境掃描電鏡（ESEM）。FEI第一臺完整的聚焦離子束（FIB）工作站交付使用。

　　·1993年 交付一體化集成TecnaiTM TEM。FEI同飛利浦電子光學聯合發布第一臺雙束DualBeamTM（FIB/SEM）工作站。

　　·1996年 FEI交付第5000只LMI源。

　　強強聯合，領銜世界

　　·1997年 FEI與飛利浦電子光學合并為現今的FEI公司。交付第一臺嵌入式晶圓制程DualBeamTM系統。

　　·1998年 發布PC控制的一體化集成TEM（TecnaiTM）。推出全球第一臺應用于自動缺陷分析檢測的DualBeamTM。

　　·1999年 FEI兼并Micrion（聚焦離子束產品）。

　　·2000年 推出第一臺小樣品DualBeamTM系統。

　　· 2001年 推出實驗室專用DualBeamTM系統。發布第一臺配有單色器的TEM。

　　·2004年 使用配有單色器和球差矯正器的透射電鏡200KV TecnaiTM，突破了透射電鏡分辨率1Å的極限。

　　·2005年 推出全球功能最強大的商用透射電鏡TitanTM 80-300KV（S/TEM），其分辨率可達亞埃級。

　　·2006年 第一臺美國能源部專用帶像差矯正透射電鏡（TEAM）交付，分辨率達到0.5Å。

　　·2008年 發布一款極高分辨率的掃描電鏡Magellan XHR,其在低束流（低射束能量）模式下可達亞納米級分辨率。

　　·2016年 賽默飛世爾科技收購原FEI電鏡，成立賽默飛材料與結構分析（MSD) 電鏡事業部，是顯微鏡和微量分析解決方案的創新者和供應商。

　　賦能科技，開創未來

　　賽默飛掃描電鏡作為賦能科技進步的全球領導者，始終致力于把全球領先的科學技術與創新成果融入到本土化的實踐中，進一步加強本土人才培養與產業生態建設的同時，依托自身的全球化能力，賦能更多本土合作伙伴走向全球，攜手全社會共同建設一個更健康、更清潔和更安全的中國。